该技术采用加速电压控制离子束的方向及能量,因而刻蚀表现出极好的各向异性和速率可控性,加之其完全属于纯物理刻蚀,可应用的材料范围也非常广,至今在刻蚀化学性质非常稳定的材料(例如陶瓷、某些金属等)时依然发挥着重要作用。
但正因为如此,该技术的掩膜选择比往往较低,在刻蚀较深的沟槽时需要采用很厚的掩膜而影响刻蚀精度;且高速轰击的离子束容易造成表面晶格损伤,给器件带来不可避免的电学损伤。(2)RIE干法刻蚀:RIE 是在 IBE 基础上发展而来的一类化学反应为主、离子物理轰击为辅的干法刻蚀技术。与 IBE 相比,RIE 具有更高的刻蚀速率且同时也表现出优异的各向异性以及大面积均匀性,是目前微纳加工过程中使用最为广泛的刻蚀技术之一。其结构示意图如下图所示,当在平行板电极系统两侧施加射频电压时,腔室内的电子会加速轰击反应气体导致其发生电离,电离过程中会进一步产生自由电子继续参与碰撞,直至达到平衡的辉光放电状态,在平行板一侧形成稳定的等离子体。一般而言,RIE刻蚀需要反应生成物具有一定的挥发性,以便在刻蚀过程中能及时有效的被真空系统抽离,从而避免二次沉积从而保持刻蚀的高精度。在 RIE 刻蚀系统中,射频电场的 RF 功率直接决定了等离子体的浓度以及加速偏置电压的大小,继而可以控制刻蚀速率。但遗憾的是,RIE 在提高等离子密度的同时也会提高加速偏置电压,加速轰击离子使其具有较高的能量,可能会导致材料产生晶格损伤,同时也降低了掩膜选择比,因此在刻蚀应用中还是具有一定限制。随着大规模集成电路的迅速发展,晶体管的尺寸不断缩小,对微纳加工技术的精度、深宽比等指标提出了更高的要求,由此基于高密度等离子体的干法刻蚀技术应运而生,为电子信息技术的进一步发展带来了新的曙光。(3)ECR干法刻蚀:早期的一种实现高密度等离子体的方式是基于微波电子回旋共振技术实现的,即 ECR 刻蚀技术,其结构示意图如下图所示。该系统从顶部导入高频微波(~2.5GHz),利用微波与腔体内的电子形成共振,并在腔体外侧施加与之频率匹配的、均匀分布的磁场,使电子发生回旋共振以获得较高的能量,从而提高电离率。通过该方法可以得到高于 10E11/cm3 的等离子体密度,较 RIE 至少提高了两个数量级(10E9~10E10/cm3)。同时,底部样品台依旧与射频源相连,通过控制射频源功率可以独立控制等离子体的加速偏置电压。ECR 刻蚀技术的出现,弥补了RIE 刻蚀技术等离子体密度和偏置电压不能分别控制的缺点,同时高密度的等离子体大大提高了刻蚀速率和掩膜选择比,促进了微纳加工中超高深宽比刻蚀图形的实现。但该技术的实现依托于微波源、射频源、磁场等多个系统的共同作用,设备结构设计一般都比较复杂,同时存在各个射频源之间相互调节匹配的问题,给实际操作也带来一定难度。因此在 ECR 刻蚀技术提出不久后,又衍生出了新的 ICP 刻蚀技术。(4)ICP干法刻蚀:ICP 刻蚀技术在 ECR 技术的基础上进一步简化,采用两个 13.56MHz 的射频源分别控制等离子体的产生和加速偏置电压的大小,同时通过螺旋线圈感应出交变电磁场的方式代替 ECR 中的外部磁场,其结构示意图如下所示,射频源通过电磁耦合将能量传递给内部电子,电子在感应电磁场内做回旋运动碰撞反应气体使其电离,且可以获得与 ECR 相当的等离子体密度。ICP 刻蚀技术基本上兼顾了上述几种刻蚀系统的所有优点,同时满足了高刻蚀速率、高选择比、大面积均匀性且设备结构简单易控等需求,因此也迅速取代了 ECR 成为了新一代高密度等离子刻蚀技术的首选。下图是 ICP刻蚀反应过程示意图,辉光放电产生活性离子,然后活性离子与样品发生化学反应物理活性离子辅助打断化学键、加速反应物脱附、促进表面化学反应并去除表面的非挥发性残留。物理化学作用共同构成了刻蚀过程中的三个阶段。六、干法刻蚀中常见的问题影响干法刻蚀结果的因素多种多样,最常见的是负载效应、沟槽效应以及充电效应等。(1)负载效应:负载效应(Loading effect)是刻蚀中最常见的问题之一,其主要指在刻蚀过程中由于反应等离子体不充足而引起的刻蚀速率降低或刻蚀不均匀的效应。引起负载效应的原因有多种,根据不同原因还可以将该效应进一步细分为宏观负载效应和微观负载效应,其具体表现形式如下图所示。负载效应是由刻蚀系统特点决定的,普遍存在于所有的反应离子刻蚀中,为了缓解该效应对刻蚀结果的影响,一方面需要更高密度、分布更均匀的等离子体,另一方面,可以在反应气体中加入辅助气体以稀释和均匀等离子体、提升真空系统性能以加快等离子体的交换和刻蚀产物抽除、以及在设计光刻板时注意平衡图形密集程度等。(2)微沟槽效应微沟槽效应(Trenching effect)是指在刻蚀过程中侧壁附近的刻蚀速率大于沟槽中心的刻蚀速率而导致的倒角现象,如下图所示。该效应是由于高能粒子以一定角度轰击到刻蚀侧壁时,能量未能损耗完全而被侧壁反射下滑至底部形成继续刻蚀而导致的,该效应的产生与高能粒子的入射角度以及侧壁的倾角均有关系,因此侧壁沟槽的出现往往伴随着非完全陡直的侧壁。图b是该效应的蒙特卡罗模拟验证图,随着刻蚀深度的增加,边角的沟槽效应越来越明显。加大 RF功率能在一定程度上增加入射粒子的准直性从而提高侧壁陡直度和降低沟槽效应。但除此之外,刻蚀掩膜的负电荷积累也会在一定程度上加重侧壁沟槽的产生,具体解释见后面的充电效应。(3)充电效应充电效应(Charging effect)是由于刻蚀掩膜的绝缘性导致的,反应等离子体是带正电的离子和带负电的电子的平衡态,在偏置电压的作用下,反应离子垂直入射刻蚀表面,但由于电子质量轻、速度快,其具有一定程度的各向异性,克服反向电势到达样品表面的部分电子聚集在不导电的掩膜表面,在样品顶部形成一个微局域电场,从而对入射粒子的方向产生一定的影响,如图a)所示。一方面,带正电的反应离子会在该电场的作用下发生偏转,轰击到刻蚀的侧壁上,导致刻蚀的各向异性度降低,具体情况如图b)所示;另一方面,该电场也会通过影响带电粒子的入射角而加重沟槽效应。该效应在刻蚀窄沟道图形时较为常见,且刻蚀时间越长,电子聚集越多该效应越明显。该效应可通过采用合适的刻蚀掩膜或间歇性刻蚀的方式减缓。七、总结六十年代之前,在集成电路的制造中主要以湿法腐蚀为主,但随着器件制作进入微米、纳米时代,器件高度集成,湿法腐蚀的加工精度不能满足生产需求。
干法刻蚀技术具有刻蚀速度快、选择比高、各向异性好、刻蚀损伤小、片内和片间均匀性好、刻蚀断面轮廓可控和刻蚀表面平整等优点,被广泛应用在硅材料、介质薄膜、Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体等材料的刻蚀上,取得了优势非常明显的刻蚀效果。
干法刻蚀技术以各向异性度好、刻蚀速率高等优点取代了湿法腐蚀并迅速在微纳加工中占领了主要地位。
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参考文献:(1)InAs/GaSb类超晶格长波红外探测器制备研究[D] 许佳佳;(2)InAs/GaSb类超晶格红外探测器表面性质研究[D] 崔玉容;(3)新型InAs_GaAsSb_类超晶格长波红外探测器研究[D] 黄敏